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深冷空分的主要產(chǎn)品為純氧和純氮，其副產(chǎn)品為生產(chǎn)高壓氬氣的主要來源。氬餾分（含8%~12%Ar）是由空分裝置的蒸餾塔上提取，其中含有氧和氮等組分，制氬流程有常規(guī)制氬和全精餾制氬兩種，而純氬的制取主要是脫除氬餾分中的氧、氮和氫等雜質(zhì)。